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一维磁场探针台

金沙娱场城1991磁场探针台为材料以及早期的电子器件的非破坏电学测量提供了精确的可控环境。可使物理科学家和研究员通过方便的,可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。磁场探针台是一个多用的灵活的研究平台,可被用于专用的或者多用的团体研究资源。 探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本 本磁场探针台采用无磁材料制成,一对类亥姆霍兹线圈水平放置,产生平面内水平磁场,线圈采用自然风冷结构,并且配备有线圈过热保护,因此磁场可以长时间稳定工作。根据出厂标定的电流磁场对应关系,通过电源前面板或者软件输入相应电流,已达到所要求磁场,也可选配高斯计实时监测磁场的大小。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和样品台360度旋转,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。典型的应用包括样品的IV曲线测试,微波测试,光电测试,表征变磁环境下的磁输运特性,理解载流子浓度的霍尔效应测试,和其它材料的研究。

特点与优势

  • 产品配置

    样品台

    参数

    样品台直径

    最大60mm(可更换)

    X方向行程

    ±20mm

    Y方向行程

    ±20mm

    旋转角度

    360°

    旋转精度

    0.1°

    材料

    无磁

    探针座

    参数

    X向行程

    ±12mm

    Y向行程

    ±12mm

    Z向行程

    ±12mm

    分辨率

    20μm

    三围尺寸

    38W*62D*54H

    重量

    200克

    注:探针座可选

    探针

    参数

    长度

    38mm

    直径

    0.51mm

    针尖直径

    10μm

    材料

    钨(铍铜)

    注:探针材料、直径、针尖可选

    显微镜

    参数

    成像元件

    CMOS

    成像原件像素

    1000万

    有效像素

    1280*1024

    连续变倍

    6X-300X

    视场范围

    3.5mm-35mm

    调焦范围

    65mm

    镜头直径

    50mm

    最小分辨率

    1微米

    输出视频

    VGA

    显示器

    9寸LCD

    注:显微镜分辨率、放大倍数、视场范围等可选

     

     
  • 产品优点

                                             ·线圈骨架采用优质铝合金制作,线圈内侧采用镂空结构,有利于线圈的散热

     

                                             ·线圈采用优质耐180℃高温定制线绕制

     

                                             ·线圈整体经过电磁仿真软件优化,最大化提高电流利用效率 

     

                                             ·轻量化线圈,减少热量产生

     

                                             ·四个高精度探针座,分辨率20微米

     

                                             ·四个低频探针,频率高达1GHz

     

                                             ·CCD数字显微镜,放大倍数达到300倍

     

                                             ·9寸CCD显示器

     

                                             ·三维无磁样品台,实现水平二维移动和样品台自身旋转

     

                                             ·前面板同轴测量接口,方便连接测量引线

     

                                             ·整体无磁材料制作

     

                                             ·可定制样品台

     

                                             ·供电接口采用优质航空接头,方便易用

     

                                             ·表面进行氧化、喷塑等处理

     

                                             ·可长时间工作,不需要值守

     

     

     

     

    系统描述

     

     

                                             ·一维水平磁场(可以选配二维磁场或者三维磁场)

     

                                      ·磁场最大值200Gs(可选配更高磁场)

     

                                     ·高分辨率CCD数字显微镜

     

                                     ·三维无磁可调样品台,实现水平二维移动和样品台自身转动

     

                                     ·四个低频探针(可选配高达67GHz的GSG探针)

     

                                     ·四个三维高精度探针座,控制探针精确的移动(可选配增加探针座以及探针)

     

                                     ·磁场均匀区:中心区50毫米球体内1%

     

                                     ·先对电流和磁场的关系进行标定,然后通过给定电流值来得到磁场

     

                                     ·可选配高斯计

     

                                     ·高精度双极性电源

     

     

     

     

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