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EVS Probe Card

EVS探针卡是对传统bucklingbeam探针卡的增强。主要特点是更高的载流能力(C.C.C.)和更低的平衡接触力(BCF),以及整体的MEMS特性。EVS可以轻松满足先进晶圆探测的要求,精确对准和良好的平面度控制是稳定接触电阻的关键因素。凭借其容量和性能,EVS 是高级探卡的理想选择。

特点与优势

  • EVS主要特点

     

     

     

    类MEMS特性

     

    具有平头和尖头两种

     

    较小的针痕

     

    对80um以上的pitch更理想

     

    平面接触力比常规屈曲梁低50%

     

    载流能力比常规屈曲梁高40%

     

    更长的叶尖长度有助于延长使用寿命

     

    .与MPl内部基板兼容

     

     

     

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